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ICP-MS测定半导体应用文章

浏览：次来自：仪器网时间：2014-02-26

【导读】四甲基氢氧化铵（TMAH）是一种广泛用于半导体光刻工艺和液晶显示器（LCD）生产中形成酸性光阻的基本溶剂。

四甲基氢氧化铵（TMAH）是一种广泛用于半导体光刻工艺和液晶显示器（LCD）生产中形成酸性光阻的基本溶剂。由于其在此类高要求应用中的广泛使用，使得对TMAH纯度的检测变得越来越重要。
SEMI标准C46-03061规定浓度为25%的TMAH溶液中各元素污染物限量低于100ppb。然而，通常使用的都不是TMAH 的浓溶液，实际上使用的TMAH溶液浓度绝大多数都在1-3%之间。
http://0731lab.net/uploadfile/2014/0226/20140226040313403.pdf

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