产品详情
废气处理系统
编号：WQ-0003 名称：废气处理系统
产地：长沙 品牌：伟确科技
厂商：长沙伟确科技发展有限公司 型号：废气处理
配置：标准 出厂日期：2014-02-21
联系电话：400-7051-699
详细信息
| 一个废气处理系统（１０）设置有一个设置在形成排气管路４１的前、后排气管（４２，４３）之间的微粒分离装置。微粒分离装置（２０）包括一个确定气腔（２２）的气体容器；及一个设置在气腔（２２）中的废气引导件（３１），该件具有确定一个内部空间且设置有开口的引导壁（３２，３３），通过这些开口，内部空间与气腔（２２）相互连通，废气引导件（３１）的引导壁（３２，３３）使排入气腔（２２）的废气在垂直、回转流中流动。 | |
| 在一个废气处理系统（１０）包括：一个采用干性系统或湿性系统并通过废气排出管路（４１）与一个半导体器件制造系统相连的废气处理设备，和一个通过吸气管路与废气处理设备相连的吸气设备，该设备将废气从半导体器件制造系统（１）吸入废气处理设备；其改进包括一个设置在形成废气排出线（４１）的前、后排气管（４２，４３）之间的微粒分离装置（２０），该装置能够从废气中分离和去除包含在废气中的微粒，所述的微粒分离装置（２０）包括：一个确定气腔（２２）的气体容器，该容器被用来容纳包含微粒且通过前排气管（４２）的后端部分（４２ａ）排出的废气；及一个设置在气腔（２２）中的废气引导件（３１），该件具有确定一个内部空间且设置有开口的引导壁（３２，３３），通过这些开口，内部空间（３５）与气腔（２２）相互连通，形成废气引导件（３１）的引导壁（３２，３３）是为了引导当吸气设备在运行时通过前排气管（４２）的后端排入气腔（２２）的废气，从而使废气在气腔（２２）中在垂直、回转流中流动。 |
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