世界几大X射线荧光仪（帕纳科、布鲁克、THERMO、日本理学、日本岛津）早期生产的荧光仪均为多通道（固定道）型（每通道对应固定一个元素），之后逐步推广到更先进的单通道扫描所替代。

   采用一个扫描道（配备相应晶体）对各种元素的特征波长（角度）进行全面扫描测定的方式，可以完成从氧到铀所有元素的分析，可以测定未知成份，适应性广泛。

    X光管电流大小对测定结果的精度影响很大，目前，先进的X射线荧光仪，其最大电流均已经实现≥160mA。工作电流越大，X光管灯丝挥发就越强烈，灯丝逐步变细，直至烧断，所以钨灯丝的光管寿命相对较短，且不能在大电流下（120mA 以上）连续工作。

    特殊复合材料制作的灯丝，解决了传统光管中钨丝材料挥发所导致的发光衰减，发光强度不稳定的问题。复合材料灯丝的光管寿命可达10年以上，可以连续长时间开到最大电流（160mA）,提高轻元素检测的准确性和精度，提高分析速度。由于X射线发射强度稳定，仪器灵敏度基本上不会发生变化，不需经常校正分析曲线。
 

光谱室(晶体)内部恒温是为了避免温度波动对分析结果的影响。尤其是温度对分光晶体影响比较大，所以恒温精度越高，温度波动越小，测定结果的准确度和精度就越高，偏差就越小。目前，先进的X射线荧光仪，其恒温精度已经达到±0.05°C。

    测角仪精度——即各种元素的特征波长在荧光仪上对应一定角度，仪器对角度的测定不准，仪器对各种元素特征波长及信号的检测就不准。使用测角仪测定这些角度所能达到的精度等级即为测角仪精度。测角仪精度越高，测定结果的准确度和精度就越高，偏差就越小。

    探测器和荧光脉冲计数系统——即 X 射线信号接收、计数检测系统。准确测定样品中的待测元素，需要具备两个方面：一是仪器必须能够实现很好的激发，正常产生X射线信号；二是仪器必须具有强大的X 射线信号接收检测系统（即探测器及荧光脉冲计数系统）。目前，先进的X 射线荧光仪，在流气探测器、闪烁探测器基础上，增加了封闭探测器，它能够弥补前两种探测器在中间段元素探测上的不足，尤其是加强了Ti-Cu和La-W之间的元素分析。



 X光照射方式：即 X 光管在样品上方。上照射方式完全消除了铍窗被碎裂样品砸坏的可能性，但由于存在蒸发气体污染以及气液交界面不平整等原因，上照射方式不适用于液体样品和易挥发固体及粉末样品的测定；此外，上照射方式进样传动系统涉及三个平面，机构复杂，实际运行故障率高。早期的荧光仪普遍采用上照射方式，之后，随着技术进步，改进为下照射方式；下照射：即 X 光管在样品的斜下方，呈 45°角，光管以 45°斜角照射样品。下照射方式适用于液体样品和易挥发固体及粉末样品的测定，其进样传动系统只涉及一个平面，结构简单，实际运行故障率低。但下照射方式存在铍窗被碎裂样品砸坏的可能，因此下照射方式需要通过隔珊保护等措施，进一步降低铍窗被砸坏的可能性。 

    各品牌产品虽然质量、技术有一定的差别，但制造商能提供的服务和价格也是选购仪器的重要因素。

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